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请问扩散硅压力传感器是什么原理呢
所谓的扩散硅,就是通过工艺技术处理的掺杂硅基。虽然天天在用,但原理不太清楚。上述是我的理解,你自己找些有关书籍看看吧。
转换成破坏 桥路 平衡的 电流 ,再根据电流变化与压力 大小 的 线性关系 ,推算压力大小。好像所有的压阻 传感器 都是这个 原理 。
扩散硅压力传感器是运用半导体单晶硅材料的压阻效应,采用集成电路工艺制成芯片而制成的一种传感器。这种传感器的芯片是由四个力敏电阻组成的惠斯登电桥。
多次扩散硅片变蓝的原因
所扩散硅片发黄的解决方法如下:减小扩散温度。减少扩散时间。减少淀积温度。重新拉扩散炉管恒温。
缺点:高压测量缺乏优势 传感器封装工艺要求高 扩散硅压力变送器通过温度传感器把温度信号变为电信号,再由前置放大器把此电信号放大滤波,送往CPU的A/D 转换模块进行模拟量到数字量的变换。
(3)硅化的表面腐蚀 为了使硅片表面光亮平整,必须将机械切削造成的损伤层去掉。常用的腐蚀方法有碱性腐蚀和酸性腐蚀。碱性腐蚀就是采用氢氧化钠、氢氧化钾等碱性液来腐蚀。
去除硅片表面氧化层及扩散时形成的磷硅玻璃(磷硅玻璃是指掺有P2O5的SiO2层)。
简述扩散硅压力(差压)变送器的工作原理和特点
1、扩散硅压力变送器能与各种型号的动圈式指示仪、数字压力表、电子电位差计配套使用,压力变送器也能与各种自动调节系统或计算机系统配套使用。
2、压力变送器是一种测量压力的仪器,它可以将压力信号转换为电信号,并将其传输到显示、调节或控制系统。下面我们来详细了解一下它的工作原理和举例说明。 压力变送器通常由一个密封的弹性膜片和电子元件组成。
3、边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号。
4、压力变送器适用性广、安装维护方便、可任意位置安装。扩散硅压力变送器具有工作可靠、性能稳定、安装使用方便、体积小、重量轻、性能价格比高等点,能在各种正负压力测量中得到广泛应用。
5、变送器主要有检测部分和信号转换及放大处理部分组成。
6、压力变送器工作原理:压力变送器用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度和压力,然后将压力信号转变成4-20mADC信号输出。主要有电容式压力变送器和扩散硅压力变送器,陶瓷压力变送器,应变式压力变送器等。
求扩散硅压力传感器的特点?
1、硅蓝宝石半导体敏感元件制成的压力传感器和变送器,可以在最恶劣的工作条件下正常工作,可靠性高,精度好,温度误差最小,性价比高。
2、蓝宝石压力传感器:利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特性。
3、温度补偿,扩散硅式压力传感器是半导体,半导体具有很强的温度特性,没有温度补偿,测量误差可能会比较大。扩散硅式压力传感器传感膜片只有几十丝米厚,千万不能触碰。
4、传感器的频率响应高,可测的信号频率范围就宽,而由于受到结构特性的影响,机械系统的惯性较大,因有频率低的传感器可测信号的频率较低。在动态测量中,应根据信号的特点(稳态、瞬态、随机等)响应特性,以免产生过火的误差。
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