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白光干涉仪是一种精密测量仪器,能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓、微观三维形貌、PV值、台阶、高度、平面度、盲孔等进行高精度测量。白光干涉仪AM系列的测量精度很高,精度可以达到亚纳米级别。
白光干涉仪的光干涉原理,分为两类:PSI相移干涉法和VSI垂直扫描干涉法。PSI相移干涉法:PSI 相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。
通过调整该干涉仪,可以产生等厚干涉条纹,也可以产生等倾干涉条纹。主要用于长度和折射率的测量,若观察到干涉条纹移动一条,便是M2的动臂移动量为λ/2,等效于M1与M2之间的空气膜厚度改变λ/2。
光的干涉现象 :它是指因两束光波相遇而引起光的强度重新分布的现象。条件:两束光波相遇产生干涉现象的必要条件是:①频率相同;②光矢量(即电场强度矢量E)的振动方向相同;③在相遇处两束光的相位差恒定。
而利用微波和激光技术制成厚度计,目前还处在研制、试验阶段。测厚仪(thickness gauge )是用来测量物体厚度的仪表。在工业生产中常用来连续测量产品的厚度(如钢板、钢带、纸张等)。
白光干涉仪能检黑色涂层面。白光干涉仪的主要功能:观察、分析、应用。干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。
白光干涉仪和扫描电镜的区别
非接触式测量粗糙度:非接触测量粗糙度一般采用光学的原理。比如:白光干涉仪利用光干涉的原理,获取物体表面信息,是一种精密测量仪器,能对物体的表面粗糙度进行高精度测量。
由于自然光中蓝光的成分少,波长短,能量高等物理特性,因此,蓝光三维扫描仪的抗环境光干扰性相对于白光三维扫描仪要强大很多,使其能够在复杂的环境中正常使用,精度明显高于白光三维扫描仪。
白光干涉仪又叫做非接触式光学3D表面轮廓仪,是以白光干涉扫描技术为基础研制而成用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。
白光干涉仪的测量精度很高,精度可以达到亚纳米级别。以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动的白光干涉仪精度高达0.03nm,扫描速度高达400μm/s。
白光干涉仪不能的透明材料吗
1、样品透明度:白光干涉仪可测量的透明材料的折射率与样品的透光性相关,要求样品对白光具有一定的透光性,否则可能无法进行测量。
2、白光干涉仪能检黑色涂层面。白光干涉仪的主要功能:观察、分析、应用。干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。
3、空气:在自由空间中,两束光可以干涉。这是最常见的双光波干涉实验,如杨氏双缝干涉实验和米氏干涉实验。玻璃:透明的玻璃材料可以用于双光波干涉。例如,使用玻璃片作为分光镜和合波镜,光束可以干涉。
4、透明物质的表面会发生反射,导致透射光的强度减弱。透明物质吸收光,透明不等于真空,透明薄板越厚,透射光的强度越小。
5、它应用的行业很广泛,可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、3C产品、材料、液晶等领域。白光干涉仪的原理是光干涉,两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉。
白光干涉仪的原理是什么
白光干涉仪的原理是光干涉,两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉。当仪器扫过点A和点B时,点A和点B的干涉条纹高度峰值之间的差即为A、B两点的高度差。
光的干涉原理是指两条光线通过同一点时发生的相互作用。 干涉: 干涉指两列或两列以上的波在空间中重叠时发生叠加,形成新的波形现象。
非接触测量粗糙度一般采用光学的原理。比如:白光干涉仪利用光干涉的原理,获取物体表面信息,是一种精密测量仪器,能对物体的表面粗糙度进行高精度测量。白光干涉仪的测量精度很高,精度可以达到亚纳米级别。
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